2019年12月16日，信息学院拟购的“等离子体增强原子层沉积设备”购置可行性论证会在信息学院微纳加工实验室会议室举行。

　　拟购的“等离子体增强原子层沉积设备”是一种单片/多片薄膜沉积系统，该系统扩展了普通原子层沉积系统对前驱体源的选择范围、提高薄膜沉积速率和降低沉积温度，一般用于对温度敏感材料和柔性衬底上薄膜的沉积。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人的需求。专家组根据申请人所在实验室研究需求，认为拟购设备不仅可以实现高质量介质材料的低温制备，而且可以拓宽前驱体和生产薄膜材料种类，满足申请人团队探索下一代集成电路提供有力的硬件支撑。该设备的购置将为北京大学微纳电子学研究发挥重要作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备购置经费已落实，设备的购置经费来源为“测试费”，由信息学院彭练矛教授申请购置。仪器设备运行经费有保障。设备购置后将用于生产氧化铝、氮化铝和氧化硅材料等研究，预计年使用机时约为1200小时。可行性论证专家组由中科院物理所全保刚主任工程师，北京大学物理学院罗强高级工程师、信息学院张志勇教授、王茂俊研究员、贺小伟研究员组成。