我校信息科学技术学院购置的芬兰BENEQ OY公司的“等离子体增强原子层沉积系统”于2020年12月29日到货。该设备由科研经费支持，将用于满足在各类半导体器件研发过程中，在较低温度下沉积各种介质膜层的科研需求。拟安装在理科二号楼微纳加工实验室，责任教授为彭练矛教授。

　　相关信息：

　　2019年12月16日信息学院“等离子体增强原子层沉积设备”通过可行性论证【19-092】

　　2020年6月校招标领导小组批准采购