我校信息科学技术学院购置的美国J.A.Woollam公司的“椭偏仪”于2021年4月29日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持,将用于跨尺度微区薄膜厚度及光学常数的测量和分析。拟安装在微纳电子大厦101室,责任教授为罗葵高级工程师。
相关信息:
国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证
2020年9月校招标领导小组批准采购