2021年9月18日，化学学院拟购的“反应离子刻蚀机”通过可行性论证。

　　拟购的“反应离子刻蚀机”是一种通过气体放电产生的等离子体与材料表面相互作用，并剥离材料表层物质的系统。目前校内同类设备使用率高，机时饱满。专家组根据申请人团队研究需求，认为拟购设备可实现硅材料、金属等材料的高速率、高选择比和各向异性刻蚀，同时兼容常规氧化硅、氮化硅、硅和部分聚合物材料的刻蚀。该设备的购置将对北京大学分子材料和功能微纳器件的研究具有重要推动作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，设备购置经费已落实，经费来源为“学科建设经费”，由化学学院高珍高级工程师申请。设备购置后将主要用于光电材料和器件领域的精密测试和研究等科研工作，预计年使用机时为3000小时。可行性论证专家组由中国科学院化学研究所狄重安研究员，国家纳米科学中心高腾研究员，清华大学医学院生物医学工程系戴小川助理教授，北京大学材料学院雷霆特聘研究员，信息学院岳双林高级工程师组成。