我校信息科学技术学院购置的德国FormFactor公司的“300nm晶圆高低温超低噪声半自动/自动测量探针台”于2021年11月3日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持,将用于半导体新器件和电路的电学表征分析研究。拟安装在微纳电子大厦337室,责任教授为蔡一茂研究员。
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国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证
2021年5月24日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标