我校信息科学技术学院购置的英国SPTS公司的“高密度氮化硅刻蚀系统”于2022年1月18日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于氮化硅、氧化硅薄膜刻蚀的科研需求。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任教授为杨芳高级工程师。

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