2022年7月8日,物理学院拟购的“Micro-LED专用金属有机物化学气相沉积系统”通过购置可行性论证,论证会由实验室与设备管理部副部长周勇义主持。
拟购的“Micro-LED专用金属有机物化学气相沉积系统”是一套利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的装置。目前校内同类设备使用机时饱满,无法满足申请人需求。专家组根据申请人团队研究需求,认为拟购设备可以实现大尺寸、高质量和高均匀性氮化物Micro-LED外延片制备,满足申请人对低成本、高性能Micro-LED芯片的研发需求。仪器的购置将对北京大学第三代半导体和新型显示技术等高新领域的研究发挥关键性作用。
专家组一致同意通过上述设备的可行性论证,经费来源为“科研设费”,由物理学院王新强教授申请购置。设备购置经费已落实,运行经费有保障。设备购置后将主要用于第三代半导体显示芯片相关实验研究,预计年使用机时不低于3000小时。可行性论证专家组由中科院物理所李俊杰研究员,清华大学电子工程系汪莱副教授,北京大学物理学院杨金波教授、肖云峰教授、吴孝松研究员组成。