2022年7月25日，物理学院拟购的“DUV KrF光刻机”通过购置可行性论证，论证会由实验室与设备管理部副部长周勇义主持。

　　拟购的“DUV KrF光刻机”是一套利用深紫外光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的硅片曝光，从而使光罩上的图形复印到硅片上，使其具有电子线路图的系统。目前校内同类设备使用机时饱满，无法满足申请人需求。专家组根据申请人团队研究需求，认为拟购设备可以在集成光学芯片制备过程中提供高精度的光刻胶图形加工能力，满足申请人在集成光学芯片小批量制备研究工作中的需求。仪器的购置将对北京大学集成光学芯片的研究中发挥关键性作用。

　　专家组一致同意通过上述设备的可行性论证，经费来源为“学科建设费”，由物理学院杨起帆研究员申请购置。设备购置经费已落实，运行经费有保障。设备购置后将主要用于凝聚态物理以及量子体系中微观尺度等的研究，预计年使用机时不低于1500小时。可行性论证专家组由中科院物理所全保刚主任工程师、杨海方主任工程师，北京大学化学学院高珍高级工程师，电子学院常林助理教授、岳双林高级工程师组成。