我校集成电路学院购置的法国ECM公司的“低压化学气相淀积系统”于2022年9月28日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于微机电系统和集成电路芯片研究过程中氧化硅、氮化硅、多晶硅等薄膜生长的科研需求。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任老师为田大宇高级工程师。

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　　国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证

　　2021年6月24日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标