我校集成电路学院购置的德国PVA TePla公司的“超声波扫描显微镜”于2022年10月25日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于封装及键合工艺领域无损检测、提升微电子工艺全流程课程实训效果等需求。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任老师为崔健高级工程师。

　　相关信息：

　　国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证

　　2022年3月23日由东方国际招标有限责任公司进行了公开招标