我校集成电路学院购置的德国FormFactor公司的“真空探针台”于2022年10月11日到货。该设备由国家发改委国家集成电路产教融合创新平台项目经费支持，将用于先进集成电路研究的科研需求。拟安装在微纳电子大厦一层101超净工艺实验室，责任老师为刘鹏高级工程师。

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　　国家集成电路产教融合创新平台项目统一进行项目论证

　　2022年3月校招标领导小组批准采购