2011年10月13日，信息学院拟购的“电子耦合等离子体刻蚀机”购置论证会在实验室与设备管理部会议室召开，会议由实验室与设备管理部副部长刘克新教授主持。

等离子刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。拟购置的电子耦合等离子体刻蚀机可以刻蚀多种类的介质材料。目前校内信息学院、物理学院等有多台同类设备，但机时较满。专家组根据申请人在开展纳米尺度器件及电路研究方面的需要，认为该设备是小尺寸器件及电路制备研究的关键设备之一，一致同意通过“电子耦合等离子体刻蚀机”的可行性论证。

“电子耦合等离子体刻蚀机”由信息学院许晓燕高级工程师申请，经费来源为国家科技重大专项课题。可行性论证专家组由中科院微电子所夏洋研究员，中科院半导体所樊中朝副研究员，北京大学物理学院戴伦教授、康香宁高级工程师，信息学院李悦高级工程师组成。