我校物理学院购置的德国SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH公司的“单面紫外光刻机”及“等离子体去胶机”2套仪器于2010年10月28日到货。该批设备由国家重点实验室设备更新费支持，将用于各类微纳米器件制作中微米级精度曝光和高精度的多层套刻，拟安装昌平校区B楼115室，责任教授为康香宁高级工程师。

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物理学院“紫外曝光系统”通过可行性论证--09.12.11 

北京大学物理学院“单面紫外光刻机”招标采购完成--10.04.07