我校物理学院“薄膜沉积系统”招标采购项目（标号：2010【23】）评标会于2010年6月21日在实验室与设备管理部召开，会议由张新祥部长主持。本次参与投标的厂商共3家。评标专家认真审核了各投标商的投标方案，并对投标产品的关键技术指标进行了比对，专家组综合价格、技术、商务及售后服务等因素，经综合评分后得出结果，一致确认DE Technology Limited公司投标的产品中标。

该项目由“985”三期项目经费支持，将主要用于微纳器件加工及电输运性质测量中高质量、厚度精确控制的金属及氧化物薄膜的蒸镀。