2010年6月7日，信息学院拟购的“匀胶显影系统”购置论证会在实验室与设备管理部会议室召开，会议由实验室与设备管理部副部长刘克新教授主持。

匀胶显影系统主要用于光刻工艺前后的匀胶与显影步骤，是微纳加工的重要组成部分。北京大学微电子工艺实验室现有的匀胶显影工作为手工完成，费时费力，此次申请购置的带有自动控制功能的匀胶显影系统可自动完成匀胶、洗边、前烘及显影等工序。该设备的购置有助于提高北京大学微电子工艺实验室的整体工艺水平，同时对于高水平的完成微机械系统项目及其他科研项目具有很重要的作用。专家组经讨论，一致认为设备的用途明确、各项指标合理，且购置经费已落实，运行经费有保障，一致同意通过“匀胶显影系统”的可行性论证；并建议申请人对匀胶系统的转速和热板温度进行适当提高。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。

“匀胶显影系统”的购置由信息学院张大成教授申请，经费来源为985二期。可行性论证专家组由中科院微电子所陈宝钦研究员，清华大学物理系李群庆教授，北京大学信息学院闫桂珍教授，工学院黄岩谊特聘研究员，曹安源特聘研究员组成。