2010年4月22日,北京大学电镜实验室拟购的“离子减薄仪”购置论证会在电镜室会议室召开,设备部设备管理办公室相关工作人员参加了会议。
离子减薄仪主要用于陶瓷、半导体、金属等材料的透射电子显微镜(TEM)样品的制备。在高真空条件下,离子枪提供高能量的氩离子流,对样品表面以某一入射角度连续轰击,当氩离子流的轰击能量大于样品表层原子结合能时,样品表面原子发生溅射。通过连续不断的溅射,最后获得所需要的薄膜样品。电镜室现有一台购置于02年的离子减薄仪,部分部件老化并更换多次,减薄效率下降,且减薄过程中样品污染严重。
电镜实验室是北京大学在显微结构方面的公共测试平台,担负着全校理科各院系及全国其他院校的显微结构的分析测试任务,作为透射电镜不可或缺的配套设备,离子减薄仪的老化对全校显微结构分析测试任务的正常开展造成了一定的影响。专家组认为此次拟购的离子减薄仪将可有效的保证透射电镜样品的制备,且此次拟配备的低能量枪和低温台将可实现对特殊样品的无损制备,满足更多院系的科研需求。设备购置经费已落实,运行经费有保障,专家组一致同意通过“离子减薄仪”的可行性论证。
“离子减薄仪”的购置由物理学院俞大鹏教授申请,经费来源为电镜实验室发展基金。可行性论证专家组由北京大学物理学院苏晓东教授,冉广照教授,徐军高级工程师,尤力平高级工程师组成。