我校信息科学技术学院“原子层沉积设备”招标采购项目（标号：2011【60】）评标会于2011年11月29日在实验室与设备管理部召开，会议由张新祥部长主持。本次参与投标的厂商共四家。评标专家认真审核了各投标商的投标方案，并对投标产品的关键技术指标进行了比对，通过质询、谈判及议价等环节，专家组一致确认：北京正通远恒科技有限公司投标的产品中标。

该设备由国家重大科技专项经费支持，将主要用于新型微电子器件用材料制备。