纳米压印技术是 Y.Chou 博士于 1995 年在美国明尼苏达大学纳米结构实验室开发的全新的纳米图形复制技术,是一种在纳米尺度获得复制结构的低成本、高速度的方法。纳米压印机可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构,而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。目前校内同类设备使用效率很高,机时较满。专家组根据申请人在纳米半导体及其光电性质研究方面的需要,认为该设备是制作纳米光电子器件的关键设备之一,且购置经费已落实,运行经费有保障,一致同意通过“纳米压印机”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。
“纳米压印机”由物理学院秦国刚院士申请,经费来源为国家重点实验设备费。可行性论证专家组由国家纳米中心孙连峰研究员,中科院半导体所