2011年12月7日，物理学院拟购的“金属/氧化物介质多功能超薄膜制备系统”购置论证会在在实验室与设备管理部会议室召开，会议由实验室与设备管理部部长张新祥教授主持。

“金属/氧化物介质多功能超薄膜制备系统”由物理学院肖立新教授申请，经费来源为国家重点实验室设备费。该仪器主要用途包括：高熔点金属氧化物薄膜的沉积；多层金属氧化物薄膜的制备；多种氧化物混合溅射沉积；低功率溅射模式下完成有机薄膜上低损伤溅射金属氧化物薄膜。目前校内同类设备使用效率很高，机时较满。专家组根据申请人开展有机功能性薄膜及其光电性质研究的需要，认为该仪器是制备金属/氧化物介质多功能超薄膜以及介观光学结构的关键设备之一，将对北京大学在有机光电器件研究领域发挥重要作用。

该仪器设备购置经费已落实，运行经费有保障，专家组一致同意通过“金属/氧化物介质多功能超薄膜制备系统”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。可行性论证专家组由中科院半导体所杨富华研究员，清华大学物理系李群庆教授，北京大学物理学院王福仁教授、信息学院许胜勇教授、化学学院邹德春教授组成。