2012年3月28日，物理学院拟购的“电子束蒸发镀膜系统”、“光刻机”和“热蒸发台”购置论证会在实验室与设备管理部会议室召开，会议由实验室与设备管理部副部长刘克新教授主持。

拟购置的三台设备均为纳米和微米器件加工中的重要设备。量子材料中心正在建设的微加工实验室将开展基于纳米器件的加工及材料测量工作，在器件加工的过程中，蒸镀金属电极是不可缺少的一步，而这一步可以由电子束蒸发镀膜设备来完成，电子束蒸发镀膜系统是微纳加工中的重要设备，特别是生长高质量的薄膜。光刻机是采用掩膜对准技术，对光刻胶进行曝光，使受紫外光辐照的光刻胶发生性质变化，经过显影定影等处理步骤，从而在样品上形成亚微米精细图形的设备。热蒸发台用于多种材料体系极薄板的制备，实验室用于在衬底上生长半导体薄膜以及金属电极。目前校内信息学院、物理学院等均有多台同类设备，使用效率高，机时饱满。专家组根据申请人在开展低维纳米尺度量子材料和器件制备等研究方面的需要，认为该三套设备是纳米和微米器件加工的关键设备，一致同意通过“电子束蒸发镀膜系统”、“光刻机”和“热蒸发台”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。

上述三套设备由物理学院危健研究员申请，经费来源985三期。可行性论证专家组由中科院半导体研究所杨富华研究员，中科院物理研究所郑东宁研究员，中科院微电子研究所刘明研究员，北京大学信息学院许胜勇教授，物理学院肖云峰研究员组成。