2012年5月2日，信息科学学院拟购的“感应耦合等离子体刻蚀机”购置论证会在理科2号楼2420会议室召开，实验室与设备管理部设备管理办公室相关工作人员参加了会议。

拟购置的“感应耦合等离子体刻蚀机”是光电子器件常用的工艺设备，主要用于刻蚀硅、氧化硅、氮化硅等。申请人所在实验室的研究方向主要集中在硅基集成光收发机，硅基发光，硅基传感器件，硅基光子晶体等，在硅上制备各种有源、无源器件，需要用到硅、氧化硅、氮化硅等刻蚀工艺，因此该仪器为申请人课题组开展研究必不可少的工具之一。目前校内信息学院、物理学院等有多台同类设备，机时饱满。专家组根据申请人在开展光电子器件等研究方面的需要，认为该设备是搭建光电子工艺平台的关键设备之一，一致同意通过“感应耦合等离子体刻蚀机”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。

“感应耦合等离子体刻蚀机”由信息科学学院周治平教授申请，经费来源863经费。可行性论证专家组由北京大学信息学院徐安士教授、张帆副教授、李艳萍副教授、朱立新高级工程师、李力工程师组成。