我校信息科学技术学院购置的美国NANO-MASTER,INC. 公司生产 的“等离子增强化学气相沉积系统与反应离子刻蚀系统”于2012年5月25日到货。该设备由北京市科委专项经费支持，将用于TFT有源OLED显示屏关键技术的研发。拟安装微电子工艺实验室，责任教授为王漪教授。

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信息科学技术学院三台设备通过可行性论证

2011 年5月由北京中教仪国际招标代理有限公司招标采购