我校物理学院“原子层沉积系统”招标采购项目(标号:2012【28】)评标会于2012年6月11日在实验室与设备管理部召开,会议由张新祥部长主持。本次参与投标的厂商共两家。评标专家组认真审核了各投标商的投标方案,并对投标产品的技术指标、技术支持和售后服务进行了详细比对,经过质询、价格谈判后,专家组一致确认:镭社有限公司所投方案中标。
该设备由国家重点实验室设备更新经费支持,将主要用于各类半导体纳米线和石墨烯表面的介电薄膜沉积。