我校物理学院“紫外光刻机”招标采购项目（标号：2012【36】）评标会于2012年6月27日下午在实验室与设备管理部召开，会议由黄凯副部长主持。本次参与投标的厂商共两家。评标专家组认真审核了各投标商的投标方案，并对投标产品的技术指标、技术支持和售后服务进行了详细比对，经过质询、价格谈判后，专家组一致确认：迈可诺科技有限公司所投方案中标。

该设备由985项目三期经费支持，将主要用于微纳米材料加工工艺中高精度的光刻与套刻，是开展微纳米材料表征及器件等研究的必要设备。