2012年11月15日，信息学院拟购的“扫描电子显微镜”购置论证会在微纳电子大厦525会议室召开，会议由信息学院微电子系副系主任刘晓彦教授主持，设备部设备管理办公室相关工作人员参加了会议。

扫描电子显微镜的制造原理是依据电子与物质的相互作用，一般由真空系统、电子束系统以及成像系统三部分组成。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现，已广泛应用于化学、材料科学、地球科学及生命科学等领域。目前校内同类设备使用效率很高，机时较满。专家组根据申请人开展新型半导体材料及器件研究的需要，认为该设备是分析物体微观结构和表面形貌的关键设备之一，且购置经费已落实，运行经费有保障，一致同意通过“扫描电子显微镜”的可行性论证。设备购置后将在满足申请人课题组科研需要的同时对校内外开放使用。

“扫描电子显微镜”由信息学院韩德栋副教授申请，经费来源为973项目经费。可行性论证专家组由北京大学物理学院冉广照教授，信息学院康晋锋教授、刘晓彦教授、王漪教授、何燕冬副教授组成。