我校物理学院国际量子材料中心购置的美国NEUTRONIX QUINTEL公司生产的“紫外光刻机”于2012年12月18日到货。该设备由985项目三期经费支持,将主要用于微纳米材料加工工艺中高精度的光刻与套刻,是开展微纳米材料表征及器件等研究的必备设备。拟安装在在物理学院东楼201-203室,责任教授为危健研究员。
相关信息:
物理学院三台设备通过可行性论证
北京大学物理学院“紫外光刻机”招标采购项目完成