由于用户对无掩模数字光刻机在分辨率、飞点激光线扫技术、扫描范围等方面的要求,只有英国Durham Magneto Optics Ltd公司生产的Microwriter ML BABY+型无掩模数字光刻机能够满足要求,因此上述设备拟采用单一来源方式采购,由Durham Magneto Optics Ltd公司承担。现将有关情况向潜在供应商征求意见。
征求意见期限从2015年7月28日起至2015年8月5日止。
潜在采购供应商对公示内容有异议的,请于公示期满后两个工作日内以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部.
地址:北京大学勺园5甲四楼409房间
联系人:李露,西鹏
联系电话:010-62758587, 010-62751411