本人所在实验室现有一台ELINIOX公司的电子束曝光系统，仪器型号ElionixELS-F125G8，主要技术指标：加速电压125KV；束流大小5pA-100nA；最小束斑直径1.7nm；1nA束流下最小线宽8nm；写场大小500um；电子束位置稳定性30nm/1h。主要用于光电子芯片的加工。电子束曝光系统需要定期进行维修保养以确保工作状态稳定。经过调研，此台设备维保所需的相应技术和配件只能由其日本总公司唯一授权的中国分公司伊领科思纳米技术（深圳）有限公司提供。因此，特申请以单一来源的方式进行采购。

    单一来源公示日期2023年12月5日到12月12日止。