申请人所在实验室主要从事微纳真空电子器件方面的研究,目前承担了片上集成X射线源、食品辐照装置研制等研究任务;研究需要玻璃晶圆和其他材料晶圆的真空气密性封接,在研究的过程中,需要利用“超快激光精密焊接系统”来实现玻璃晶圆和其他材料晶圆的真空气密性封接,而要实现这些目的,就需要“超快激光精密焊接系统”具备以下参数:(1)可实现玻璃片/玻璃片、玻璃片/硅片、玻璃片/无氧铜的焊接;(2)可在常温下完成上述焊接;(3)漏率不高于5×10-13 Pa·m3/s;(4)可实现6寸晶圆的焊接;这是因为上述参数能够满足晶圆级真空封接要求;经过调研,目前只有西安中科光凝科技有限公司的LGW30型超快激光精密焊接系统”能够满足研究的需要;因此,特申请以单一来源的方式进行采购。
单一来源公示2024年12月6日到2024年12月13日。