北京大学信息学院曝光机样品台升级改造采购。  

    申请人需要对曝光机样品台进行升级改造。固定束移动样品台（traxx）工作模式用户长路径无拼接误差的快速曝光模式，该插件是Raith厂商研发出来，可以在Raith各类曝光机中兼容使用的工作模块。对于普通的电子束离子束曝光系统，大面积曝光都是通过写场分割，矫正写场拼接精度来实现的，添加traxx后将使图形拼接精度不再受矫正能力指标所限，该功能有利于平台用户的相关研究工作顺利开展，如果微流体、波导、光子晶体等方面的研究，对学校相关学科的研发将起到很大的促进作用。申请升级的设备是Raith产品，能与之兼容的traxx模块只有设备供货商Raith能够提供。因此上述设备拟采用单一来源方式采购，由德国Raith公司承担。现将有关情况向潜在供应商征求意见。

    征求意见期限从2016年5月4日起至2016年5月10日止。

    潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部.

    地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

    联系人：彭璐，西鹏

    联系电话：010-62751411，010-62758587