北京大学物理学院射频等离子体氮源采购。

该射频等离子体氮源设备属于超高真空外延设备的升级配件（为科研定制产品），其规格型号为1257008-PKG/NIPPLE/4.5-4.5X4.0”/H2O(源炉)、187500-4-CHINA220V（控制器）。其主要用于实现氮化物半导体材料的高速生长，降低材料的位错密度，从而提高材料的晶体质量，拓宽原有材料体系的研究范围。用于生长的有效氮原子和金属原子是决定材料生长速率的关键因素，现有金属源炉能够提供所需的金属原子束流，而等离子体氮源则需进一步升级，生长速率需达到10μm/h。另外，现有生长系统使用的是Veeco公司的射频等离子体氮源。为了能够在现有系统的基础上实现完美的匹配升级，保证无缝连接以及系统稳定、兼容和集成，且便于维修，只能从唯一供应商Veeco公司处采购。因此上述设备拟采用单一来源方式采购，由Veeco公司承担。现将有关情况向潜在供应商征求意见。

  征求意见期限从2016年6月16日起至2016年6月22日止。

  潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部.

  地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

  联系人：张婷，西鹏

  联系电话：010-62751411，010-62758587