北京大学物理学院BG-401A曝光机采购。

    申请人申请购置的的BG-401A曝光机主要用于中小规模集成电路、各种半导体元器件制造工艺中的单面及对准曝光，最大兼容4吋圆晶。目前，成熟的曝光机商品主要针对大圆晶生产。申购人所在课题组主要从事高温超导约瑟夫森器件和SQUID的研究和研制。囿于高温超导约瑟夫森结和SQUID所用衬底材料特殊且非常昂贵，尺寸很小（典型尺寸是10×10和5×5的方形钛酸锶单晶），对于这类尺寸的晶片，商品曝光机满足精细曝光要求的真空复印功能不能实现；另外，高温超导约瑟夫森结和SQUID研究还需要使用一种被称之为双晶的特殊衬底，在这种衬底上的器件图形制备需要底光，但底光的引入在成熟曝光机设计上亦很难实现。经申购人所在课题组与中国电子科技集团公司第四十五研究所反复洽商，该研究所为此课题组研制在保证原有功能不变的条件下，添加满足申购人特殊要求的曝光机。经过共同试验，现已获得满足申购人课题组要求的曝光机设计，并在要求的期限内交货。

    因此拟采用研制并实验开发方式采购，由中国电子科技集团公司第四十五研究承担。现将有关情况向潜在供应商征求意见。

    征求意见期限从2016年10月13日至2016年10月19日止。

    潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

    地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

    联系人：张婷，西鹏

    联系电话：010-62751411，010-62758587