北京大学物理学院等离子体掺杂设备。

申请人购置等离子体掺杂设备，目前用户正在进行等离子体激励室温半导体扩散掺杂的研究，经前期调研，无法直接购买专用设备，需针对用户需求定制。设备需满足以下要求：解决腔室内壁材料的污染、等离子体功率独立调节、样品台精密控温问题，从而实现等离子体激励下室温半导体扩散掺杂。

拟将该设备交由北京泰龙公司协助设计、完成制造，1）该公司依托微电子所，具有较强的科研实力和人才技术优势；2）有等离子体刻蚀设备的研制、生产基础，对该等离子体掺杂设备改进和制造可以提供有力的支持；3）该公司能够根据用户要求定制出完整的解决方案和总体设计。

因此该设备拟采用单一来源方式采购，由北京泰龙电子技术有限公司承担，现将有关情况向潜在供应商征求意见。

    征求意见期限从2017年5月10日至2017年5月16日止。

    潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

    地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

    联系人：车轶彤，西鹏

    联系电话：010-62751411，010-62758587