北京大学信息科学技术学院双室超高真空电子束蒸发系统。

申请人申请购置双室超高真空电子束蒸发系统，申请人申请购置的“双室超高真空电子束蒸发系统”用于超导铝薄膜的制备，需使用超高真空电子枪，超高真空环境，为非标定制设备。要求：1、国内科研机构制备超导薄膜广泛采用之设备，减小使用风险；2，采用国际上唯一满足蒸发源漏率小于10^-8Pa.L/S的TELEMARK公司可移动蒸发源；3，采用高端SIP系列溅射离子泵使制备室真空达到10^-8pa量级；4，真空室内外表面采用电解液处理，保持整个真空系统的常年维持超高真空度；5，设备需要在千级洁净间安装。经调研，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司自主研发生产过高端SIP系列溅射离子泵，在1×10^-7Pa真空度条件下具有不低于名义抽速的85%抽气能力。使用符合国家检测标准的检测装置，高端SIP400A溅射离子泵得到最低3.6×10^-10Pa的检测压力；经前期调研只有中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司满足以上要求，故该设备拟采用单一来源方式采购，由中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司承担。现将有关情况向潜在供应商征求意见。

征求意见期限从2017年11月3日起至2017年11月9日止。

潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

    地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

    联系人：车轶彤，西鹏

    联系电话：010-62751411，010-62758587