申请人实验室正在开展柔性半导体器件构造工艺、性能优化及机器人皮肤应用的研究,需要利用有机热蒸镀系统实现有机半导体功能层镀膜,利用无机热蒸镀系统实现无机/金属功能层镀膜,从而制备完整柔性半导体器件。其中,有机半导体镀膜的厚度和均匀度直接影响器件性能,要求膜厚不均匀性控制在±1%以内,热喷镀频率稳定度控制在±2ppm以内,蒸镀速率精度达到0.01埃/秒;有机蒸镀舱和无机蒸镀舱需分开独立设置,避免不同蒸镀材料对器件构造造成交叉污染;此外,有机半导体材料对实验环境无氧无水条件要求极为严格(H2O< 0.1 ppm, O2< 0.1 ppm),相应的材料合成、器件制备及性能测试等步骤均需在无水无氧手套箱内连续完成,这要求拟采购设备与本实验室已有材料合成手套箱(布劳恩MBC-Q18-1121)能够组装联用,两套设备能够安全互锁,保证组装联用设备的整体安全性。
经过调研,目前只有布劳恩公司设备MB200MOD能够满足上述需求,设备型号为:布劳恩MB200MOD,故该设备拟采用单一来源方式采购,现将有关情况向潜在供应商征求意见,征求意见期限2018年10月30日至2018年11月6日止。
潜在采购供应商对公示内容有异议的,请于公示期满前两个工作日内以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。
地址:北京大学勺园5甲四楼409房间
联系人:荆明伟
联系电话:010-62751411,010-62758587