北京大学物理学院适用于氮化物单晶的金刚线多线切割机免招标采购征求意见公示

申请人所在实验室主要从事AlN/GaN单晶方面的研究，目前承担了氮化物单晶晶片的研究任务。研究需要实现2英寸氮化铝单晶衬底的研制，在研究的过程中，需要利用“金刚线多线切割系统”来实现用HVPE方法和PVT方法生长出的AlN晶体无断裂地切割，从而得厚度均匀的晶片，并保证能切割小尺寸且外形不规则（不能滚圆）晶体，而要实现这些目的，就需要“金刚线多线切割系统”具备 1）切割过程中金刚线张力要求始终受控，张力波动始终小于+-0.3N；2）线网定位精度必须能控制，斜面入切时，厚度均匀性≤0.1mm。垂直面入切时，厚度均匀性≤0.05mm；3）设备断线率≤1%;4）同时可实现多线和单线切割的转换 等技术参数，这是因为氮化物单晶生长不易，价格昂贵，生长时由于晶面的自然收缩成不规则圆锥柱状，且表面起伏不平。由于不能滚圆，经常产生斜面入切，对线网定位精度要求高，断线率要求低以避免材料断裂或浪费；同时还需要“金刚线多线切割系统”具备长x宽x高≤1.5x0.8x1.8m的外形尺寸限制，这是因为我方实验室空间受限，只能提供这么大的设备放置空间；

经过调研，目前只有昆山瑞伯恩精密机械有限公司的RBN-SD-3030 (10线)型“金刚线多线切割系统”能够满足研究的需要，故该设备拟采用单一来源方式采购，现将有关情况向潜在供应商征求意见，征求意见期限2019年2月19日至2019年2月26日止。

      潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟

联系电话：010-62751411，010-62758587