北京大学信息科学技术学院快速热退火炉免招标采购征求意见公示

申请人所在信息科学技术学院的微纳电子器件与集成电路实验室主要从事纳米尺度三维器件集成研究，目前承担了国家重点研发计划与国家重大专项科研任务；研究目标包括超浅结，以及源漏纳欧级别的接触电阻率，因此需要快速热退火系统来实现离子注入退火激活、欧姆接触退火、高温结晶化等，要求快速热退火系统具备：退火温度1350°C，持续30秒，1300°C，持续2mins；温度重复性—+/-2°C；最高升温速率—150°C/s（硅片测试）；最高降温速率— 20oC/s(1000℃降至600℃）；配备分子泵后反应腔室真空度： <6x10-5mbar；反应腔室泄漏率：≤10-3mbar.l/s（本底真空条件下封闭腔室，记录2小时升压）；可引入4种载气；采用冷壁腔体设计，具有低的温度记忆效应；具备热电偶和高温计的控温方式。

经过调研，目前只有ECM公司的 JETFIRST 200HT型真空热退火系统能够满足我们所需的最高退火温度和最快升温速率，特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年6月3日至2019年6月10日止。

    潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟  

邮箱：mwjing@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587