北京大学信息科学技术学院Sentaurus半导体模拟软件套装免招标采购征求意见公示

Synopsys公司的Sentaurus应用于半导体集成电路领域的模拟、分析及预测，基于纳米级工艺制程、器件结构以及物理效应，可实现1维、2维和3维半导体器件的电学特性和工艺流程模拟，较为可靠地预测和评估半导体器件的电学、温度和光学等特性，为上层电路设计提供依据。此外，Sentaurus基于先进的C++软件构架和成熟高端的数值解析算法，具有极强的扩展能力，与Spice模型等有较好的兼容性。

同时，我们对相关的TCAD软件市场做了调研。市面上除了Synopsys公司的Sentaurus外，还有Silvaco公司的Atlas&Athena。通过调查对比: Atlas只支持器件仿真, 而Athena只支持工艺仿真。所以完整的新型器件及工艺研究就需要两个平台，投入大而效率不高。同时，该软件缺乏许多高等器件物理模型和工艺模型。而Sentaurus的相关套件将1维/2维/3维仿真集成于同一平台，同时支持半导体器件工艺仿真和器件仿真，功能强大，它还拥有最全面、最精确的器件物理和工艺模型并集成了所有TCAD软件的功能，是得到认可的行业标准。

Sentaurus相关套件在本课题组使用由来已久且效果显著，它的license每三年需要重新购买一次。综合以上所论述的软件的必要性、优势、以及相关TCAD软件市场调研，并通过大型软件购买可行性论证报告之后，专家组与申请方普遍认为Sentaurus及相关套件在课题开展中具有不可或缺的作用，是其他同类TCAD软件无法取代的，特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年8月12日至2019年8月19日止。

  潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587