北京大学物理学院超高真空电子束蒸发源免招标采购征求意见公示

申请人所在实验室主要从事拓扑超导材料及其异质结方面的研究，目前承担了“量子材料与拓扑量子计算”等研究任务；研究需要实现高质量的拓扑绝缘体和其他强自旋轨道耦合二维量子材料，如(Bi,Sb)₂(Se,Te)₃，(W,Mo)(Se,Te)₂等薄膜的制备，这些材料需要在超高真空（真空度为10^-10-10^-11mbar）的环境下才能实现原子层量级精确控制薄膜厚度和掺杂度。而要实现这些目的，就需要蒸发源必须是“超高真空”兼容的，不然会释放出各种杂质，影响材料质量。

根据调研，目前电子束蒸发源的供应商主要有三家，包括Telemark和Temescal（美国），MBE-Komponenten（德国）。但是，Telemark和Temescal的电子束蒸发源仅兼容高真空（真空度为10^-6mbar左右）材料生长，而且，一些密封件采用Viton密封，而不是全金属密封，因此不能承受高温烘烤（只能承受约120℃烘烤）除气。

只有MBE-Komponenten的电子束蒸发源是专门为超高真空环境设计的，所有部件均采用金属制作，可承受至少200℃的长时间烘烤，且设备本底真空度能够达到10^-11 mbar量级。

此外，我们制备的二维材料中需要用到Se，对电子束蒸发源的主体材料Cu具有腐蚀性，需要对蒸发源中裸露的Cu进行防护，以阻止其被Se腐蚀。经过调查，只有MBE-Komponenten公司有成熟的解决方案，能够提供特制的Ni防护罩，以阻挡Se和Cu接触，有效防止Se对Cu的腐蚀

因此，目前只有德国MBE-Komponenten公司的EBVM 250-6×15型“超高真空电子束蒸发源”能够满足研究的需要，特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年8月27日至2019年9月3日止。

  潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587