北京大学物理学院超高真空衬底加热器免招标采购征求意见公示

申请人所在实验室从事磁性薄膜的物性研究的研究，目前承担了“单晶磁性超薄膜的超快磁性研究”等研究任务；研究需要实现高质量的单晶磁性薄膜材料的生长，如FePt, CoFe, MnFe, VFe等，这些材料需要在超高真空（真空度为10^-10-10^-11mbar）的环境下才能实现原子层量级精确控制薄膜厚度和合金化。生长这些薄膜的时候衬底必须加热到1000℃甚至以上的温度，必须使用高纯W材质制造的加热器才能实现如此高温，并同时维持超高真空。

目前国产的W加热器两个方面达不到要求：一是国产W材料纯度不够，使用时会造成加热器局部热点温度过高，从而烧坏加热器，影响寿命；二是对于3英寸衬底面积来说，国产加热器温度均匀性不够好，只能做到±3-5%左右的均匀性，不满足我们对均匀性±1.5%的要求，从而影响生长单晶薄膜的厚度和组分均匀性。因此，国产加热器在寿命和均匀性这两方面暂时不满足我们的要求。

经过调研，国际上能给供应高品质3英寸超高真空兼容的W加热器的厂家有美国VEECO, 法国RIBER和德国MBE-Komponenten公司。我们现有的超高真空系统，生产商是Scienta Omicron，不兼容VEECO和RIBER的加热器，而这两家公司只提供标准型号的加热器，不提供定制尺寸的加热器（比如调整加热器真空内长度和衬底上下升降距离）。只有德国MBE-Komponenten公司提供的加热器可以按要求定制相关尺寸，并且能上下升降，所以特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年9月9日至2019年9月16日止。

  潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587