北京大学物理学院超高真空掩模腔免招标采购征求意见公示

申请人所在实验室主要从事拓扑超导材料及其异质结方面的研究，目前承担了“量子材料与拓扑量子计算”等研究任务；

研究需要实现在高质量的量子材料薄膜上外延其他量子材料、磁性材料、超导材料的纳米结构，如纳米方块、纳米线、纳米岛等，线宽在100纳米范围，并保证两种材料之间的界面高度洁净。这一制备技术要求一个兼容超高真空环境制备纳米材料的操作系统，它能在超高真空下进行掩模的存放、选取、与薄膜样品贴合、对准、转移等操作。这样的功能可以通过一个超高真空掩摸腔体实现，腔体内包括能进行多种高精度操作的机械手（能平移、旋转、翻转样品和掩模等），并需要有特殊的技术把掩模和样品紧贴、对准。该系统开创性地将材料生长设备和微纳加工领域应用的掩膜板装置结合在一起，最终能够直接在衬底上实现材料的定点、尺寸形状可控化的生长。结合不同精度级别（百纳米到亚毫米图形尺度）的掩膜板，甚至可以实现多层堆叠式的bottom-up式原型器件制备。

经过调研，目前只有MBE-Komponenten公司曾经做过类似的设备，并且有一个成功案例，是University of Paderborn的Prof. D. Reuter课题组，他们利用MBE-Komponenten公司特别开发的掩膜板腔体，结合MBE技术，成功制备出尺寸在100 nm左右的均匀排列的Ga量子点阵列。目前只有该公司能提供制备100纳米线宽纳米结构系统和解决方案。该设备属于高度定制型设备，没有其他公司可以提供解决方案，所以特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年9月20日至2019年9月27日止。

  潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587