北京大学信息科学技术学院原子层沉积系统免招标采购征求意见公示

申请人所在实验室主要从事半导体量子电子器件方面的研究，目前承担了半导体-超导复合量子器件的研究任务。研究需要实现顶栅可高效调控的半导体沟道结构，在研究的过程中，需要利用“原子层沉积系统”来实现高速高品质栅介质层的制备，而要实现此目的，就需要“原子层沉积系统”具备较好的高温密封系统和微波等离子体技术，这是因为高温密封系统能够有效隔绝其他气体渗漏，保证沉积材料不会有其他杂质生成。例如在热式沉积氮化物中由于隔绝了空气中的氧气渗漏可以有效降低氮化物中氧杂质的含量，我们希望能够降低到1%以下；同时在沉积一些速率较低的材料时，微波等离子体的等离子体可以有效提高沉积速率，我们需要等离子体密度在>10cm距离下可以大于1012cm-3，提高速率一倍以上。

经过调研，目前只有元于科技（北京）有限公司的YT-ALD150型“原子层沉积系统”具备氮气保护的双O-Ring高温密封系统和小体积高效微波等离子体以及气体分子动能系统，能够满足研究的需要，所以特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年9月24日至2019年10月1日止。

  潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn wuxuxu@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587