北京大学信息科学技术学院高低温超低噪声测量探针台免招标采购征求意见公示

申请人所在实验室主要从事微纳电子器件方面的研究，目前承担了包括超低功耗器件、新型存储器、器件可靠性等研究任务；研究需要实现对器件的超低电噪声进行分析，在研究的过程中，需要利用“高低温超低噪声测量探针台”来实现高低温下超小电流I-V和1/f超低噪声等晶圆级测量功能，而要实现这些目的，就需要“高低温超低噪声测量探针台”具备EMI屏蔽> 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz、光衰减≥130 dB、光谱噪声基底≤ -180 dBVrms/rtHz (≤1 MHz)、系统交流电噪声≤5 mVp-p (≤1 GHz)的技术参数，这是因为研究需要1/f噪声分析可低至10^-25A²/Hz；需要“高低温超低噪声测量探针台”具备全金属屏蔽开尔文接法测试部件，这是因为研究需要电流漏电精度小于15fA；同时，需要“高低温超低噪声测量探针台”具备垂直、侧面双光路点测控制环境技术，这是因为研究需要防止干扰并安全有效地侧面观察点测区域以及扎针情况。

经过调研，目前只有MPI公司的TS2000-SE系统能够满足研究的需要，所以特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年10月11日至2019年10月18日止。

  潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn wuxuxu@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587