北京大学化学与分子工程学院高真空复合蒸发镀膜机免招标采购征求意见公示

申请人所在微纳与柔性器件加工测试平台，主要是面向校内外进行新型分子功能材料和微纳器件测试加工。目前，实验室承担了实现不同金属电极及其纳米颗粒、金属氧化物、有机半导体等不同材料在不同温度下的单独生长及共同生长，并可检测生长材料的厚度及控制生长速度，可对材料的形貌及性能进行精确调控，从而实现对相关器件的性能调控、对原型器件进行一体性精确控制的研究任务。这就要用到多个蒸发源的高真空复合蒸发镀膜机，在高真空环境下对金属及氧化物等进行热阻或者电子束蒸发，使其在样品台上沉积成膜，极限真空度要求达到2x10-7torr；镀膜控制系统需要PC控制，也可实现手动控制镀膜，可自行设定镀膜速率等参数。需要配备带有液氮冷却功能的样品台，同时具备旋转、升降等功能，要求镀膜控制软件可控制蒸发速率在0.01A/s，膜厚分辨率需达到0.01A，薄膜均匀性优于±5%，并且要求课对接手套箱。

经过调研，目前仅有Angstrom Engineering Inc.公司的Amod复合式镀膜系统可以满足我们的需求，所以特申请以单一来源的方式进行采购，征求意见期限2019年10月12日至2019年10月19日止。

   潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn wuxuxu@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587