北京大学物理学院超高真空高温源炉/超高真空标准源炉/超高真空热裂解源炉免招标采购征求意见公示

申请人所在物理学院的量子材料科学中心主要从事低维磁性材料生长、合成与制备与表征的研究，目前承担了《单晶磁性超薄膜的超快磁性研究》等研究任务；研究需要生长、制备低维磁性薄膜和纳米结构材料，并在材料系统中尝试添加新的元素，最终制备新型单晶磁性超薄膜。而要实现这样的目的，就需要利用若干个兼容超高真空分子束外延系统的不同温区、功能的源炉（如：高温源炉、中温源炉、低温源炉、裂解源炉等），在超高真空的环境下，配合使用，才能实现原子层量级精确控制薄膜厚度和掺杂度。这就要求源炉必须具备：超高真空兼容、温度稳定性好、控温精度高的特性，不然会释放出各种杂质，影响材料制备质量。

根据调研，国内外主流源炉设备供应商，国内的有沈阳科仪、大连齐维等，国外的有美国Veeco, 法国Riber，德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH等。首先，国内供应商没有裂解炉产品，而美国Veeco, 法国Riber只有大型阀控裂解炉，容量超过250 cc，占用空间大，使用不灵活，无法兼容小型分子束外延系统，只有德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH能够同时提供符合要求的高温炉、标准炉和裂解炉；

其次，对于Fe, Cr, Bi等材料，需要使用超高真空高温源炉、超高真空标准源炉，在温度稳定性方面，只有德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH采用双点测温，温度稳定性优于±0.1℃，而其他公司均采用单点测温，温度稳定性仅能达到±0.2℃，国内供应商甚至仅能达到±0.5℃；

最后，对于Te, Se材料，只有德国Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH具有超高真空热裂解源炉，装料区和裂解区全部采用PBN制造。装料池容量130 cc，加热最高温度达650℃，裂解口加热最高温度达1200℃。装料池和裂解口处温度稳定性均优于±0.1℃。裂解区温度和装料区温度可独立控制，无互相干扰。

因此，目前只有德国MBE-Komponenten公司的产品够满足我们的需求，特申请以单一来源的方式进行采购。征求意见期限2020年3月26日至2020年4月2日止。

潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn   wuxuxu@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587