北京大学信息学院等离子体增强原子层沉积系统免招标采购征求意见公示

申请人所在实验室主要从事碳基纳电子器件和集成电路方面的研究，目前承担了碳基纳米电子器件与集成的研究任务；研究需要实现高性能和高集成度的碳基纳电子器件与集成电路，在研究的过程中，需要利用“等离子增强原子层沉积系统”来实现高质量介质薄膜的低温快速生长，而要实现我们所需的可控高质量、低温、快速生长，需要沉积系统具备：

1. 在线自动惰性气体吹扫；

2. 低温生长速率≥4s/cycle。

经前期调研，目前只有BENEQ 的TFS200产品满足我们的需求。此外，由于实验室空间有限，沉积系统配套的尾气处理装置只能与目前已有沉积系统（BENEQ的TFS200）共用，经了解，其他公司的沉积系统不能与现有尾气处理系统对接；特申请单一来源的方式进行采购。征求意见期限2020年5月20日至2020年5月27日止。

潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn   wuxuxu@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587