北京大学信息学院光谱椭偏仪免招标采购征求意见公示

申请人所在信息学院微电子工艺实验室，主要从事硅基微纳结构加工技术的基础研究，目前承担了产教融合创新平台项目。项目需要对微纳电子器件跨尺度区域范围内的关键薄膜结构进行测量，为准确定位测量区域，避免相邻结构干扰，实现超薄膜的高精度测量，需要椭偏仪具备尽可能小的光斑尺寸。

经过调研，目前只有美国J.A.Woollam公司的RC2 XF型光谱仪在210-1000nm光谱范围能够将光斑尺寸做到25um，而其他公司的测量光斑均＞50μm，因此，特申请以单一来源的方式进行采购。征求意见期限2020年7月17日至2020年7月24日止。

潜在采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期满前两个工作日内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至北京大学实验室与设备管理部。

地址：北京大学勺园5甲四楼409房间

联系人：荆明伟 

邮箱：mwjing@pku.edu.cn   wuxuxu@pku.edu.cn

联系电话：010-62751411，010-62758587