北  京  大  学

微纳米超净加工公共实验室招标采购项目

招 标 文 件

编号：2007[03]

北京大学实验室与设备管理部

二〇〇七年元月十日

目        录 

第一部分  投 标 邀 请.................................................................... 2

第二部分  投 标 须 知.................................................................... 3

第三部分 技术要求.........................................................................7

第一部分  投 标 邀 请

北京大学信息科学技术学院拟招标采购一微纳米超净加工公共实验室，现向贵单位发出投标邀请，若同意有关要求，请参加投标。有关问题说明如下：

1、    招标人：北京大学

2、    招标地点：北京大学实验室与设备管理部

3、    招标货物名称、数量、交货期及地点：

（1）           招标货物名称：微纳米超净加工公共实验室。

（2）           技术规格要求：见第三部分；

（3）           交货期：合同签订后70个工作日内；

（4）           交货地点：北京大学信息科学技术学院

4、                  招标文件的获取：2007年1月16日、17日，上午8:00-11:30，下午13:00-16:30（北京时间）。北京大学实验室与设备管理部购买招标文件，每套100元人民币，售后不退。

5、    投标人可从北京大学招标公告栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标书。

6、    实地勘察现场时间：2007年1月18日上午9:00整，由北京大学实验室与设备管理部出发。

7、    投标人购买一份标书只能投一个方案，一份标书投2个或以上方案视为无效。

8、    投标人在开标时需对投标方案作15分钟的论述与讲解，评委5分钟提问。

9、    投标地点：北京大学实验室与设备管理部。

10、              投标截止时间：2007年1月26日上午9时前（北京时间），逾期恕不接受。

11、              开标时间：2007年1月26日上午9时整。

12、              开标地点：北京大学实验室与设备管理部。

13、              联系方法

联系人：北京大学实验室与设备管理部   张宇波  张玉祥

                     电话：010-62758587

                     传真：010-62751411

地址：北京市海淀区颐和园路5号       邮编：100871

第二部分  投 标 须 知

一.              说明

1.       适用范围

（1）           本招标文件仅适用于本投标邀请函中所叙述项目的货物、工程及服务。

2.       定义

（1）           “招标人”系指北京大学。

（2）           “投标人”系指按照招标文件的规定，获得招标文件，并向招标人提交投标文件的企业或事业或科研单位的独立法人。

（3）           “中标人”系指由评标委员会评审符合招标文件要求，综合竞争实力最强、赢得供货合同的投标人。

（4）           “用户”系指北京大学信息科学技术学院。

（5）           “货物”：就本招标文件而言，投标人在合同项下需要提供、安装、基层的、包括与信息处理和交流有关的硬件、软件，以及所有有关的文件，统称为“货物”。

（6）           “服务”：由投标人提供的有关运输、保险、安装、继承、调试、培训、技术支持、维护和维修以及其它使货物正常运转所必需的服务，统称为“服务”

3.       投标费用

（1）           无论投标结果如何，投标方自行承担所有与参加投标有关的全部费用。

（2）           中标服务费

中标商应在合同生效后5个工作日内，依照中标金额采用差额定率累进计费方式向北京大学交纳中标服务费。具体计算方式：

a)       100万元人民币以下部分按1％收取；

b)       100－500万元人民币部分按0.8％收取；

c)       500万元以上人民币部分按0.6％收取

二.              投标方条件

1．    投标人必须是具有法人资格的企业或事业或科研单位的独立法人。

2．    具备良好的供应和施工能力，具有完善的售后服务和良好的信誉，无不良经营行为。

3．   投标人应遵守《中华人民共和国招标投标法》、《中华人民共和国合同法》等有关的中国法律法规。投标人须具有独立法人资格和相应资质，且具有良好的商业信誉。

4．    投标人需具有微纳米超净加工公共实验室建设、安装经验以及成功案例。

三.              投标文件的编写要求

1.       投标文件的语言与计量单位

（1）           投标文件、资料、往来信函等使用语言为中文。

（2）           除招标文件有特殊要求外，投标文件中所使用的计量单位、图形符号等应使用中华人民共和国法定计量单位及通用图形符号。

（3）           投标文件中，由于未作解释或解释不当而产生的歧义，招标人可朝对招标人有利的方向理解。

2.       投标文件的组成

（1）           投标书

a)       微纳米超净加工公共实验室及其设备投标报价表；

b)       投标货物名称、规格型号、配置及主要技术数据和性能的描述；

c)       建设、制造、安装、验收标准；

d)       投标人情况一览表；

e)       售后服务承诺以及兑现这些承诺所具备的条件和保障措施；

f)       开标一览表

g)       投标人能够给予招标人的其他优惠条件。

（2）           资格证明文件：

a)       营业执照（复印件）；

b)       法人资格证明或法人代表授权书

c)       税务登记证明（复印件）；

d)       注册资本证明（复印件）；

e)       法定代表人或授权代表的身份证（复印件）；

f)       投标货物的生产许可证（复印件）或产品代理授权证明；

g)       投标货物（技术）的鉴定证书（复印件）；

h)       投标货物（技术）获优、奖等荣誉证书（复印件）；

i)       有关技术人员及参与项目管理、施工人员的资格证明；

j)       投标人认为有必要的其他证明文件。

（3）           投标书附件：

a)       详细的交货清单；

b)       备件清单；

c)       专用工具清单；

d)       交货时间；

e)       对招标文件要求付款方式的确认或偏离建议；

f)       投标货物近三年在中国境内外销售业绩；

g)       投标人认为需要陈述的其他内容。

3.       有关投标报价的规定

（1）             所有投标均以人民币报价。

（2）             投标报价应是货物（技术）交付之前包括货物及运输、系统集成、安装调试、人员培训等的最终报价。

（3）             投标报价应提供单价及本次投标总价。

（4）             投标人应详实提供设备投标报价表。

（5）             招标人不接受投标人对任何未办理正常进口手续的非中华人民共和国境内生产的货物的投标报价。

（6）             未经考验的新产品、试制品不能参加投标。

（7）             投标报价为一次性报价。

（8）             招标人不保证最低报价中标。

4.       有关投标的其他规定

（1）         投标文件正本必须用不退色的墨水填写或打印，幅面规格A4并装订成册，副本可用复印件。投标文件须一式6份（正本1份，副本5份），分别加盖“正本”“副本”印章。正本与副本如有差别，以正本为准，责任由投标人自负。

（2）         投标文件中不许有加行、涂抹或改写。若修改错漏处，须由法定代表人或其授权代表签字并加盖单位公章方可生效。

（3）         投标文件封面应标明“正本”或“副本”字样。

（4）         为方便开标唱标，投标人应将开标一览表单独密封提交，并在信封上标明“开标一览表”字样。

（5）         全部投标文件应装入同一密封袋内，密封包装，封口处应有投标人法定代表人或其授权代表签字并加盖投标单位公章；封面注明招标项目名称和编号，投标人的名称、地址、邮编、传真、联系电话、联系人。

四.              开 标 和 评 标

1.       开标

（1）             开标仪式由招标人主持，在投标邀请函中规定的地点和时间开标。

（2）             开标时当众查验投标文件密封情况，确认无误后拆封。

2.       评标

（1）         评标委员会：招标人将依照《中华人民共和国招标投标法》、国家计委等七部委制定的《评标委员会和评标方法暂行规定》、《北京大学招标采购管理办法》等法律法规的有关规定组建评标委员会；评标委员会成员由专家、用户代表等五人组成。

（2）         评标原则：评标委员会按照有关法律、法规规定和招标文件要求，遵循公平、公正、科学、择优的原则，采用相同的程序和标准，不受外界任何因素干扰和影响独立对投标文件进行评审。

（3）         评标主要内容：对投标文件的初审、质疑、综合评审、择优定标。

3.       中标条件

（1）         能最大限度满足招标文件要求；

（2）         投标报价合理；

（3）         具有综合竞争优势。

五.              授 予 合 同

1.       招标人在授标时的权利

（1）             在授予合同时，招标人有权变更货物数量和服务内容。

（2）             若投标人数达不到法定要求或评标委员会否决所有投标，招标人有权选择其他采购方式。

2.       中标通知

（1）              评标委员会确定中标厂商后，由招标人签发《中标通知书》。

（2）              对未中标的投标人，招标人可以不解释落标原因，投标文件不予退还。

3.       签订合同

（1）          中标人应按中标通知书规定的时间、地点及其他要求与招标人签订中标经济合同。

（2）          投标人接到中标通知后未按规定签订中标经济合同，或要求修改其投标文件，或转包者，招标人有权撤销其中标资格并按开标后撤回投标处理，投标人应承担由此给招标人造成的一切损失。招标人可另选评标排序第二位的的投标人为中标人或另行招标。

六.              验收

1．  投标人应提供建设、安装及验收标准以及货物清单。

2．  货物运抵安装现场后，招标方提供货物储存和安装调试场所，并对货物质量、规格等技术指标进行检验；

3．  中标人未在规定日期进行安装、调试工作的，按如下约定支付违约罚金：

推迟一周，违约罚金为合同总额的1％；

推迟两周，违约罚金为合同总额的3％；

推迟三周，违约罚金为合同总额的5％。

第三部分 技术要求

一.              概述

北京大学将于原理科二号楼地下室大教室(2056E/C)、南北天井部分区域和地面层天井中央区兴建“北京大学微纳米超净加工公共实验室”。超净室内超净面积区域分为100 级区（约60 平米）、1000 级区（约120 平米）、5000-10000 级区（约90 平米）和灰区（约50 平米）。超净室的加工和研究设备主要有电子束曝光机、高精度光刻机、自动甩胶机、普通光刻机和甩胶机、原子层生长仪、蒸镀仪、刻蚀仪、溅射仪、高温炉和各类检测设备等。用户主要是北京大学各理工学院、各系的研究人员和学生。主要应用领域为微、纳电子器件和材料，样品以小尺寸硅基片的少量加工为主。超净室内满负荷工作容量为20-25 人。

二.              主要技术要求

1.        整体结构

a)       超净室所处位置平面示意图见图1。理科二号楼原2056 地下大教室的使用面积约240 平米。大教室南、北两侧各有一个地下层天井，南天井面积约155 平米，北天井约112 平米。考虑到天井周围办公室和实验室的通风和采光，南、北天井用于超净室建设的面积分别为120 平米和60 平米，共约180 平米。按设计图纸将超净室的面积分隔为100 级区、1000 级区、10000 级区和灰区。在南天井设置仪器进出口，与南天井相邻的2008S 室为仪器预清洁室。北天井拟建化学药品进料室。地下层南、北天井内新建筑将采用部分透明玻璃墙和玻璃顶板，外墙距离周围房间1.5米，以保留周围房间的通风和采光。

b)       超净室地面层建筑面积约280 平米，分为地面管道层和管道层上方的超净室辅助设备机房、超净室专职人员办公室和展厅等，其平面示意图见图2。其中，空调机房和冷水机房周围需建造隔音墙以保证不影响周围的办公室。超净室地面层控制室与地下层更衣室之间建有内部简易楼梯，便于工作人员随时到超净室内解决问题。

c)       地下天井的四个采光井口用钢结构玻璃顶板封闭，防止雨水落到地下天井区域，同时保留部分通风功能。地面层为简易彩钢板和玻璃建筑，位于地下层原有的四个采光井中间，构成金字塔外形或人字形屋顶结构，其四周高度为3.5-4.0 米，塔尖高度拟为8 米，示意图见图3。其中地上部分标高1.2-1.4 米2之下建管道层，送风管和回风管穿过2056 大教室顶部“井”字梁中间的楼板与超净室相连。管道层上建送风机房、空调机房、冷水机房、配电与控制机房、纯水机房、气瓶室、超净室专职人员办公室和展厅等。空调机房和冷水机房等周围和上方建造1-2 层隔音墙，使隔音墙外噪音小于55-60 分贝。送风机房、空调机房和冷水机房下方建造减震台，使机器的震动不致影响周围实验室的科研工作。

d)       排风机组和废气处理系统将建于东大楼楼顶。理科二号楼地下层排风、实验室排风、经处理过的废气和未经处理的尾气等全部将由三路独立的排风管，沿东大楼墙面通到理科二号楼东楼楼顶的排风机房和废气处理系统，从楼顶排入大气。其示意图见图4。

2.        超净区划分

超净区各区划分示意图见图5。理科二号楼2056 地下大教室内建100 级超净区约60 平米、1000 级区约120 平米和灰区约50 平米。其中，100 级区主要安置电子束曝光机、高精度光刻机、甩胶机，以及一个简易化学清洗橱；1000 级区主要放置普通光刻机、原子层生长仪、溅射仪、刻蚀仪、高温炉和检测设备等，以及一个简易化学清洗橱。

大教室南侧地下层天井建5000-10000 级区约30 平米，主要放置普通光刻机、甩胶机、薄膜蒸镀仪，以及一个简易化学清洗橱。

大教室北侧地下层天井建5000-10000 级区约60 平米，主要放置各类检测设备，并建一个化学清洗间和一个化学药品储藏室。

在100 级区和1000 级区之间设立小型二次更衣室。在南天井设置更衣室和风淋室。

3.        超净室指标

a)       超净室温度

超净室100 级区: 温度22℃ ± 0.5℃

超净室1000 级区: 温度22℃ ± 1.5℃

超净室10000 级区: 温度22℃ ± 3.0℃

灰区: 温度22℃ ± 3.0℃

b)       超净室湿度

超净室100 级区: 湿度：45％±10％

超净室1000 级区: 湿度：50％±15％

超净室10000 级区: 湿度：55％±15％

灰区: 湿度：60％±20％

4.        空调与净化设计

a)       至少两套空调系统和送风机组

本工程要求设计至少两套净化空调系统，分别覆盖100 级区、1000 级区和其他区域。一则便于维修保养，二则兼顾大学公共实验室的特点，超净室各区的使用并不是一天24 小时、每周7 天、每年365 天连续满负荷工作。根据超净室内满负荷工作25 人、平日8-20 点平均工作人员为10-15 人、其余时间平均工作3人员为2-5 人的估计，设计满负荷工作状态、夜间工作状态和假日节能工作状态等相应的控制模式，也根据不同的工作模式而调节相应的新风比例。

b)       超净室回风

由于本工程场地的限制，超净室100 级区采用底部回风，而1000 级区和其他区域都采用下侧面回风，通入灰区或回风墙，再进管道层。灰区以回风通气为主，个别死角添加送风口。

c)       超净室内部设计

超净室各区室内地面、墙体、吊顶、灯光、装修等，按电子器件应用标类超净室的通用标准来进行设计。100 级区和1000 级区的主要分隔墙面使用透明玻璃，以便于监控、参观和管理。

d)       超净室内供电

按仪器位置规划图（待定），在超净室每个分隔房间及灰区若干位置安设墙面电力插座2-4 组。每组电力插座包括380V 三相电和220V 单相电各若干路。

配电室与主控机房位于地面层。配电室内分别对超净室各区动力设备、两类电镜（电子曝光机、场发射扫描电镜）、照明等不同功能的设备设置独立的配电箱。主控机房内设智能化电源箱控制系统，内部闭路电视系统、内部局域网、内部报警系统、对讲通话系统和对外电话等。峰值总电力容量约250 kW。电源箱控制系统具备过夜节能和部分关闭功能。对部分的动力供电（月50-100 kW）安装断电保护系统（UPS）。

e)       接地线、磁屏蔽室和防震

按设计图纸位置，分别在100 级区、1000 级区和10000 级区的个别分隔室设置接地线3 个端口，接地电阻分别为 < 0.2 Ω（100 级区）和< 0.4 Ω（1000、10000 级区），接地线截面积 > 16 mm²。

在100 级区安置电子束曝光机的分隔室以及在北天井一小分隔室安装磁屏蔽层，技术指标分别为：0-625 Hz，< 1 mG 和< 1.25 mG。

在100 级区安置电子束曝光机和高精度光刻机的位置，以及将来可能安装另两台扫描电镜的位置会有3-4 个独立的防震台（将在本工程之前建成）。

5.        气路和水路要求

a)       超净室内供气

气瓶间设置压缩空气机和1-2 个的气瓶柜。按仪器位置规划图（待定），在超净室每个分隔房间安设6 路普通气管接头。高纯氮由液氮转换装置产生。常用气体分别为: 99.9995% N₂，1bar；99.99% N₂，3bar；过滤后的压缩空气，6bar；99.9995%H₂，1bar；99.9% O₂，1bar；99.9%Ar，1bar。

另按仪器位置规划图在超净室的个别分隔室开通4-6 路特殊气体（如ClF₄）通道至灰区,供反应炉、ICP、RIE、ALD 等设备专用。管道的材料、减压表的类型、阀门的规格、过滤器与接口的规格、焊接口的处理等，需另行具体商定。每一个灰区都设置尾气排放管道接口。

b)       超净室内供水

设立一个中央循环冷却水系统。按设计图纸位置在超净室每个分隔房间安设1-2 路冷却水水管接头，冷却水6-8pH，15-25℃，3bar。另按设计图纸位置在超净室各清洗橱、化学清洗间等位置开通2-3 路纯水水管接头。管道的类型、流量、接口及阀门类型等需另行具体商定。

6.        纯水

纯水净化水系统的出口纯水电阻率达到18 MΩ·cm，细菌数 ≤ 2 个/100 ml，0.2 μm 以上微粒数 ≤ 2 个/ml，TOC ≤ 30 μg/l，SiO₂ ≤ 3 μg/l。纯水最大储水容量为0.25-0.5 吨，最大流量为每小时250-500 升，使用点水压0.2-0.3MPa。净化水管道类型、阀门类型等另具体商定。

7.        内部监控、通讯与消防

在超净区某些分隔室和部分灰区设立网线端点（或使用局域无线网）、联网电脑、闭路电视监控和内部电话。

超净室内按照建筑灭火器配置规范设防火警报器，备手提式灭火器，设立2-3个紧急出口。地面层风机房、空调机房、办公区等，按规范设防火警报器和喷淋式消防给水系统。

8.        地面和地下排水系统

建立有效的地面层排水系统，避免雨水在地面积水，也保证地下层超净室用水的顺畅排放。超净室地下排水系统包括排水管道和地下集水池、地下中和池，各备水泵两部。超净室经处理后的废水泵入地面新建的排水系统排放。

9.        废气、废水与废液处理

综合考虑尾气气体排放和化学气体排放。在特定仪器旁边的灰区设立易燃气体燃烧室。主要排风机组和废气处理系统将建于东大楼楼顶。理科二号楼地下层排风、实验室排风、经处理过的废气和未经处理的尾气等全部将由三路独立的排风管，沿东大楼墙面通到理科二号楼东楼楼顶的排风机房和废气处理系统，从楼顶排入大气。

在灰区设立废液收集室。超净室普通清洁用水经地下集水池集中，然后泵入地面新建的排水系统。强酸,碱和有毒废液将收集于专用瓶中，送往专业处理站处理。其他普通无毒、带弱酸或弱碱性的清洗水废液将由地下中和池收集，经处理后排放。

10.     噪音防范

尽可能将空调排风机组和其他产生很大噪音的设备安装在9 楼楼顶。或者，专设进气室，使排风机安放在室内，并由高空排风管排放。安装在地面一层风机房内的设备，如产生噪音，必须将这些设备安放在封闭的隔音室内，使隔音室外噪音小于55-60 分贝。

11.     化学防护

在清洗间设立紧急喷淋装置。设立化学药品存储室，内有酸、碱储存柜、特殊药品储存柜、冰箱等。设立洗手池和独立的常开排风装置。

12.     取暖和节能

整个工程设计应考虑节能和环保的要求。地面层管道层和上方的超净室辅助设备机房、超净室专职人员办公室、展厅等，将使用原理科二号楼地下室大教室的水暖供应管道取暖。办公室、展厅等使用普通空调。

三.              质量保证

质保期为两年。须提供详细的质保期内和保质期外的设备维修计划、易损部件（如过滤器）的维护、保养和更换计划。

四.              附带说明

为加快工程进展，便于方案评估，请列出拟使用主要设备（比如空调机组、新风机组、冷水机组、UPS 电源、控制系统、纯水系统、高纯氮系统、各类过滤器等）的清单，设备生产厂家、国别、型号、主要功能指标（包括噪音量）、到岸价（CIF）。

也请画出由两套（或3 套）设备控制的超净工艺流程，附文字说明。

对地面层的设计，请画出机房平面图和外部结构外观效果图或示意图。

地下层地面地坪将在本工程之前完成。其示意图见图6。

开  标  一  览  表

注：1、若本页写不开可按此格式另加附页；

2、请将本表用信封单独密封并附于标书内，开标时将唱读本表。

投标商签章：                     

年      月      日